Międzynarodowe konsorcjum, w którego skład wchodzi Łukasiewicz – Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, rozpoczęło prace nad projektem „Modeling Unconventional Nanoscaled Device FABrication” (Modelowanie wytwarzania niekonwencjonalnych przyrządów w skali nano). Głównym zadaniem ITME będzie wykonywanie oraz interpretacja pomiarów przy użyciu techniki spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS) oraz integracji wyników z innymi komplementarnymi technikami pomiarowymi.
Badania SIMS, taką decyzję podjęło konsorcjum, będą wykonywane wyłącznie w Ł – ITME z uwagi na wysoką jakość sprzętu, jakim dysponuje Instytut. To najnowszej generacji urządzenie CAMECA IMS SC Ultra umożliwiające subnanometrową rozdzielczość wgłębną oraz opracowany przez dr. Pawła Michałowskiego unikalny sposób prowadzenia pomiarów, polegający na przygotowaniu dedykowanych procedur pomiarowych dostosowanych do danego typu materiału. Dr Michałowski jest także kierownikiem projektu z ramienia Ł-ITME. Badania będą finansowane w ramach programu Unconventional Nanoelectronic Horyzont 2020.
Europejska Mapa Drogowa dla Nanoelektroniki (NanoElectronics Roadmap for Europe, NEREID) zakłada rozwój nowych narzędzi uwzględniających nowe materiały, technologię oraz innowacyjną architekturę przyrządów. Te zadania będzie realizować projekt MUNDFAB. W trakcie jego realizacji wytwarzane będą zaawansowane struktury oparte na stopach krzemowo-germanowych, a następnie poddawane niskotemperaturowej obróbce. Wyniki uzyskane z wszechstronnej charakteryzacji próbek zostaną wykorzystane do rozwoju narzędzi symulacyjnych TCAD, aby umożliwić projektowanie nowej generacji przyrządów nanoelektronicznych. Projekt ma trwać do końca 2022 r.
W skład międzynarodowego konsorcjum wchodzą: Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology (Niemcy, lider konsorcjum); Commissariat à l’Energie Atomique et aux Énergies Alternatives, Laboratory of Electronics and Information Technologies (Francja); Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (Włochy); Centre National de la Recherche Scientifique, Laboratory for Analysis and Architecture of Systems i STMicroelectronics (Francja); Technische Universität Wien, Institute for Microelectronics (Austria) oraz Sieć Badawcza ŁUKASIEWICZ – Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych.
JK
(Źródło: ITME)